一种步进光刻配置装备部署及光刻曝光措施(对于一种步进光刻配置装备部署及光刻曝光措施简述)

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一、种步置装种步置装 《一种步进光刻配置装备部署及光刻曝光措施》是进光进光简述上海微电子装备有限公司于2011年8月22日恳求的专利，该专利的刻配刻配宣告号为CN102955368A，授权宣告日为2013年3月6日，备部备部缔造人是署及署及陈勇辉、吴立伟、光刻光刻张俊。 

二、 《一种步进光刻配置装备部署及光刻曝光措施》果真一种步进光刻配置装备部署，搜罗：一照明单元，用于提供曝光光束；一工件台，用于反对于一基底在大道路规模内妨碍六逍遥度行动；一掩模台，用于反对于一掩模在曝光时候在小道路规模内相对于所述工件台同步行动；一投影物镜，用于将掩模上图形按预约比例投射至基底；其特色在于，所述工件台挨次步进至曝光场后，所述掩模台同步行动至所述工件台对于应的位置并同时曝光。该缔造同时果真一种该步进光刻配置装备部署的光刻曝光措施。 

三、 2020年7月14日，《一种步进光刻配置装备部署及光刻曝光措施》取患上第二十一届中国专利奖优异奖。 

四、 （概述图为《一种步进光刻配置装备部署及光刻曝光措施》摘要附图） 

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